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产品参数:
| 型号 | PT-NMXYZ200 |
| 运动自由度 | X、Y、Z |
| 传感器类型 | Strain Gage |
| 标称行程范围(@0~+120V) | 200 μm x 200 μmx 200 μm |
| 最大行程范围(@-20~+150V) | 240 μm x 240 μmx 240 μm |
| 分辨率 | 7 nm/轴 |
| 重复定位精度 | 0.05% F.S./轴 |
| 线性度 | 0.1%/轴 |
| 空载阶跃时间 | 50 ms/轴 |
| 承载能力(推荐) | 5N/轴 |
| 谐振频率 | (XYZ)150 Hz、200 Hz、230 Hz |
| 运动方向刚度 | 0.5N/μm |
| 运动方向推力/拉力 | 30N/5N |
| 驱动方式 | 压电陶瓷 |
| 工作温度范围 | -20~+80°℃ |
| 线缆长度 | 1.5 m/轴 |
| 外形尺寸（长x宽×高） | 70x 70x 28 mm |
| 重量 | 400 g |
| PZT&Sensor连接器 | LEMO |
| 材质 | 铝 钢 |
产品尺寸：
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